-
型式
・VB70c-Z50
・VB114-Z50
・VB114c-Z50
・VB114-Z100
・VB114c-Z100
・VB114-Z150
・VB114c-Z150 -
概要
フランジベースを基準にZ方向に移動させます。
-
特長
- オールメタル製により≦200℃のベークが可能です
- 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します
-
仕様
型式 VB70c-Z50 VB114c-Z50 VB114-Z50 VB114c-Z100 VB114-Z100 VB114c-Z150 VB114-Z150 接続フランジ ICF70 ICF114 ICF114 ICF114 ICF114 ICF114 ICF114 有効内径 φ40ｍｍ φ50ｍｍ φ50ｍｍ φ70ｍｍ φ70ｍｍ φ70ｍｍ φ70ｍｍ 移動量 50mm 50mm 50mm 100mm 100mm 150mm 150mm 寿命 10,000回 10,000回 10,000回 10,000回 10,000回 10,000回 10,000回 リーク量 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 ベーキング温度 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
