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型式
・VMR34-H
・VMR70-H
・VMR70-HW -
概要
基板回転など回転を真空内に伝える機構です。
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特長
- オールメタル製により≦200℃のベークが可能です
- 磁気結合型なので、長寿命仕様になっております
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仕様
搬送方式 磁器結合方式 取付フランジ ICF34（VMR34-H）
ICF70（VMR70-HW）脱調トルク 12kgf･cm（VMR34-H）
35kgf･cm（VMR70-H）
70kg･cm（VMR70-HW）15°トルク 12kgf･cm（VMR34-H）
30kgf･cm（VMR70-H）
60kg･cm（VMR70-HW）ベーキング温度 最高200℃ ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
