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型式
・VRS70
・VRS114 -
概要
差動排気することで、超高真空対応ができるロータリー式回転ステージです。
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特長
- ICFフランジマウントによる超高真空下においても回転が可能
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仕様
到達圧力 1.0×10E-7Pa以下 取付フランジ ICF114（タップ穴） 差動排気ポート取付フランジ NW25 ベーキング温度 最高140℃ ギア比 1：100 ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
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用途
- LN2、LHeを使用した極低温ステージ
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オプション
- モーター駆動
