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型式
・VD70
・VD114
・VD152
・VD203
・VD253 -
概要
ロードロック室などノゾキ窓付きの扉機構です。
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特長
- Oリングシール方式
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仕様
取付フランジ ICF70（VD70）
ICF114（VD114）
ICF152（VD152）
ICF203（VD203）
ICF253（VD253）有効径（mm） φ32（VD70）
φ62（VD114）
φ96（VD152）
φ146（VD203）
φ193（VD253）ベーキング温度 最高120℃ 窓ガラス材質 テンパックスガラス リーク量 5×10-10Pa・m3/sec以下 ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
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オプション
- 窓ガラスの材質変更可
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