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型式
・FT-NW25
・FT-NW40
・FT-CF34
・FT-CF70 -
概要
真空容器の内部に電源用、加熱用などの大電流を大気側から供給するための端子です。
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特長
- 真空アニール装置等の大電流のヒーター用で使用する電流導入端子です
- 高い気密性を保ち、絶縁性、耐熱性に優れております
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仕様
電流値 100A 耐電圧 DC5kV スリーブ コバール® 絶縁体 アルミナセラミック 絶縁抵抗値 109Ω 使用温度 -196℃～450℃ リークレート ＜5.0×10-10Pa・㎥/sec 電極材料 無酸素銅 フランジ材質 SUS304 フランジサイズ ICF34・ICF70・NW25・NW40 ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
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導入実績
- 真空アニール装置の加熱ヒーター用
- 熱CVD装置の加熱ヒーター用
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オプション
- 電極部にタップ加工
