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型式
・VB152XY-Z
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概要
ベースフランジを基準にXYZに移動させます。高精度のマイクロメータを使用していますので真空内の位置決めが容易に行えます。
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特長
- オールメタル製により≦200℃のベークが可能です
- 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します
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仕様
接続フランジ 移動側：ICF70、固定側ICF152 有効内径 φ36ｍｍ 移動量 XY：7.5mm、Z：50mm 繰返し制度 XY：0.01mm以下、Z：0.05mm以下 目盛 XY：0.01mm、Z：0.02mm 寿命 10,000回 リーク量 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 ベーキング温度 最高200℃ 予備ポート ICF34（4か所） ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
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オプション
- ICF34予備ポートの変更可能
