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型式
・VB70-AXY5
・VB114-AXY7.5
・VB70-XY7.5
・VB114-XY7.5
・VB114-XY12.5
・VB152-XY12.5
・VB203-XY12.5 -
概要
フランジベースを基準にXY方向に移動させます。
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特長
- オールメタル製により≦200℃のベークが可能です
- 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します
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仕様
型式 VB70-AXY5 VB114-AXY7.5 VB70-XY7.5 VB114-XY7.5 VB114-XY12.5 VB152-XY12.5 VB203-XY12.5 接続フランジ ICF70 ICF114 ICF70 ICF114 ICF114 ICF152 ICF203 有効内径 φ38.5ｍｍ φ49.5ｍｍ φ39.4ｍｍ φ70ｍｍ φ60ｍｍ φ95ｍｍ φ95ｍｍ 移動量 XY：5mm XY：7.5mm、Z:5mm XY：7.5mm XY：7.5mm XY：12.5mm XY：12.5mm XY：12.5mm 繰返し制度 XY：0.1mm以下 XY：0.1mm以下 XY：0.01mm以下 XY：0.05mm以下 XY：0.05mm以下 XY：0.05mm以下 XY：0.01mm以下 寿命 10,000回 100回 10,000回 10,000回 10,000回 5,000回 10,000回 リーク量 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 2.0×10-11Pa・㎥/sec以下 ベーキング温度 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ 最高200℃ ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
