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型式
・VMRL34
・VMRL70
・VMRL114 -
概要
高精度のパイプを使用することで、試料を真空チャンバ間で搬送する用途の他に、上下機構、シャッタにも使用しています。位置決めが容易に行えます。
XYステージと組み合わせることで、試料搬送を容易にしていま使用しています。位置決めが容易に行えます。
自己潤滑のガイドを使用しているので、ゴミ、異物混入に強い構造です。
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特長
- オールメタル製により≦200℃のベークが可能です
- オリジナル肉厚パイプにより、ロングストローク、自動化にスムーズに対応します
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仕様
搬送方式 磁器結合方式 取付フランジ ICF34（VMRL34）
ICF70（VMRL70）
ICF114（VMRL114）推奨ストローク（mm以下） 400（VMRL34）
700（VMRL70）
1000（VMRL114）直進力（保持力） 2kgf（VMRL34）
7kgf（VMRL70、VMRL114）トルク 1.2Kg･cm（VMRL34）
8.0Kg･cm（VMRL70、VMRL114）ベーキング温度 最高200℃ ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
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オプション
- 搬送ガイド
- モーター付き移動機構
