熱CVD装置

- 共同開発先：エア・ウォーター株式会社
- 納入先：国立研究開発法人　産業技術総合研究所様
https://unit.aist.go.jp/sfrc/colomode/
概要

成長チャンバーを加熱室とガス室で仕切ることで、加熱室に極力ガスが入らない構造。

シリンダーキャビネットの取り扱いと、特殊ケミカル供給装置の対応。
特長
- 加熱室と成膜室分離型チャンバー方式
- SiC、カーボン、PBN各ヒータータイプ対応可
- 集積ガス設備対応
- 真空ロボット自動搬送や手動搬送に対応

仕様

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