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概要
高精度・高感度な水晶振動式圧電素子と独自の感圧・断熱機構により、0.1Pa〜100kPaの広い圧力範囲を1ヘッドで測定できます。
ガス種依存性がなく、研究・開発から製造装置まで幅広く活用可能です。
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特長
- 1ヘッドで広帯域測定：ガス種に依存せず、幅広い圧力帯をカバー
- 高精度・高分解能：水晶振動式感圧素子採用による高精度な測定
- 熱遷移誤差が少ない設計：ヒーターレス構造で熱影響を低減
- マルチI/O対応：アナログ出力、RS-485、USBなど多様なインターフェースに対応
- 腐食性ガスに対応：過酷な環境でも使用可能
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仕様
検出方式 水晶圧電素子隔膜変位計測 計測レンジ 100kPa*1 分解能 6.5s（0.003Pa）1.6s（0.012Pa）0.4s（0.05Pa）0.1s（0.2Pa） 動作温度・湿度 15~45℃、70%RH 以下 電源電圧・消費電力 18…36VDC ≦1.5W 出力信号 Analog 0…10VDC、RS-485、USB I/Fコネクタ HR10A-10R-12P（73）、USB Type-C 接続フランジ形状 ICF34 *1 精度1*)：0.2% of Reading (25℃における直線性および再現性を含んだ出荷時の精度) *1 精度2*)：0.03% Full Scale (15~45℃における温度補正後の直線性および再現性を含んだ出荷時の精度) *)精度の定義:計測値から基準器の出力値を引いた値です。計測値から真の値を引いた値や、不確かさとは異なります。 ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
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用途例
- 真空蒸着装置の圧力管理
- 研究開発用真空チャンバーの制御
- 真空乾燥装置のプロセスモニタリング
- 半導体成膜・エッチング装置の圧力フィードバック制御
- スペースチャンバーの真空度計測
- 水素ガス気密試験装置
- カーボンナノチューブ製造装置（スパッタ装置・CVD）
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導入実績
- NEC社向けスペースチャンバー
- エア・ウォーター社向け半導体積層薄膜形成装置
- カーボンフライ社向けカーボンナノチューブ製造装置
- 大手自動車向け水素ガス気密試験装置
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オプション
- 小型表示機（QG1000）：真空計表示用ユニット（LCD表示・状態監視）
- 電源ケーブル 3m
小型表示機（QG1000）
