回転導入機（ベローズ式）

型式

・VBR34
・VBR70

概要

ビューイングポートシャッタ、基板回転など回転を真空内に伝える機構です。

ベローズを使った回転導入機です。モータ駆動には適していませんので、手動の操作にてお使い下さい。

特長

• オールメタル製により≦200℃のベークが可能です
• 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します

仕様

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