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型式
・VBLS34
・VBLS70 -
概要
XYステージと組み合わせて、XYZステージとして使用することが可能で、外形に台形ネジを配置した省スペースなZ移動機構です。
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特長
- オールメタル製により≦200℃のベークが可能です
- 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します
- 軽量・コンパクト設計で、容易に装置の省スペース化を図れます
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仕様
取付フランジ ICF34（VBLS34）、ICF70（VBLS70） 内径（ｍｍ） φ15（VBLS34）、φ38.5（VBLS70） 移動量 25mm（VBLS34-ST25、VBLS70-ST25）
50mm（VBLS34-ST50、VBLS70-ST50）最小読取量 0.2mm 寿命 10,000回 ベーキング温度 最高200℃ リーク量 2×10-11Pa・m3/sec以下 ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
