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型式
・VBL34
・VBL70 -
概要
真空内に直線運動を伝える機構で、熱電対を取り付けて温度測定、磁気移送機構の先端サポートなど用途は様々です。
ベローズを使った直進導入機です。モータ駆動には適していませんので、手動の操作にてお使い下さい。
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特長
- オールメタル製により≦200℃のベークが可能です
- 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します
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仕様
接続フランジ ICF34（VBL34）
ICF70（VBL70）許容推進力 12kg（VBL34）
20kg（VBL70）ストローク 25mm（VBL34、VBL70）
50mm（VBL34、VBL70）
100mm（VBL70のみ）最小目盛り 0.05ｍｍ 寿命 10,000回 ベーキング温度 最高200℃ リーク量 2×10-11Pa・m3/sec以下 ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
