CNT製造装置 Caltema

概要・特長

Caltemaは、㈱カーボンフライが開発した高性能カーボンナノチューブ（CNT）の量産装置です。

本装置は、独自のRoll to Roll搬送システムに、スパッタリング機構、CNT成長のCVD機構、CNTを収穫して装置から搬出する回収機構、

スパッタリングとCVDの生産タイミングを調整するためのアキュムレータ機構、スパッタリング（高真空）とCVD（常圧）接続する他の真空バッファー機構から構成されています。

弊社は、本装置の開発および製造において、技術提案を含め貢献しております。

用途例

• 高性能CNTの量産製造
• スパッタリングとCVDを組み合わせた複合プロセスの量産用途

オプション

• 水晶式隔膜真空計 Qruva™（QG1000）

装置の開発・製造会社

• 株式会社カーボンフライ

https://carbonfly.co.jp/