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概要
DeepCore-X（HAXPES-Lab）は、実験室環境でHAXPES測定を実現するために開発されたシステムです。
光源にはGa（Ga Kα：9.25 keV）を採用し、アナライザーには世界中の放射光施設で広く導入されているEW4000を組み合わせています。
さらに、Ga線源の強度を向上させることで、従来のHAXPES-Labと比較して測定効率の大幅な向上を実現しています。
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仕様
試料ホルダー 直径100mmのサンプルキャリア
（オプションとして4インチウェハ対応の拡張、バイアス印加用コンタクト等）試料搬送およびナビゲーション 試料導入から測定までの自動ワークフローに対応 搭載アナライザー シエンタオミクロン EW4000（詳細仕様はEW4000に準ずる） HAXPES用X線源（深い層） モノクロ化されたGa Kα線（9.25keV）、最大出力1000W XPS用X線源（表面敏感） モノクロ化されたAl Kα線（1.49keV）、最大出力300W ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
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オプション
- 帯電補正電子銃
- イオンスパッタリング（Arモノマー、Arクラスター）
- 冷却・加熱機構
- フラグ型試料ホルダー用アダプター など
