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概要
微小振動の検出が可能なセイコーエプソン株式会社製加速度センサーを用いて、
振動抑制価値を創生するソリューションを展開致します。
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特長
- 低ノイズ・高分解能・広い検出範囲・高安定な加速度センサーと自社の真空技術の融合が、新たな振動対策の領域へ。
- 3軸一体型構造による高精度なベクトル解析が、リアルな振動を可視化し、新たな制振技術を創生します。
- 微小振動の可視化と、高度な制振技術の創生が研究・開発の加速を後押しします。
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用途例
- 各研究施設の振動評価
- 嫌振設備の設置環境振動監視
- 嫌振設備の状態監視
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導入実績
- 放射光施設の振動測定
- 硬X線光電子分光分析装置(HAXPES)振動実態調査
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セイコーエプソン株式会社製加速度センサー
型式 M-A370AD10 M-A352AD10 検出軸 3 3 出力物理量 加速度/傾斜角度 加速度/傾斜角度 検出範囲(加速度) ±10G ±15G 周波数測定範囲 DC~210Hz DC~460Hz ノイズ密度 0.02μG/√Hz(1~10Hz) 0.2μG/√Hz(5~6Hz) バイアス温度誤差 ±0.5mG(-30℃~85℃) ±2mG(-30℃~85℃) 電源電圧 3.15~3.45V 3.15~3.45V 消費電流 36.3mA@3.3 V 13.2mA@3.3 V 動作温度範囲 -30~+85℃ -30~+85℃ ※本ページに記載された内容は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください
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エプソンセンシングデバイス
